無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)氣流之流動(dòng)

    無(wú)塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響臺上與臺下，換言之資源配置，即人關鍵技術、機(jī)器隔間解決、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃的移動(dòng)、擴(kuò)散等受到氣流的支配講道理。  從凈化原理上來(lái)講無(wú)塵車間是利用HEPA、PA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多發揮，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈品牌，潔凈等級(jí)在1-100萬(wàn)級(jí)之間。然而潔凈室內(nèi)除了人以外設施，尚有機(jī)器和生產(chǎn)原材料等產(chǎn)生發(fā)塵源的客觀因素節點，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無(wú)法保持潔凈空間要求，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。  

無(wú)塵車間內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間開放以來，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域等形式，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂組合運用、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度的特點、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加至關重要，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)著力提升，能以zui適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到

經(jīng)濟(jì)性效果建設項目。  

另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果動手能力，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無(wú)法保持傳遞，表示風(fēng)速有異充分，特別是在壁面，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用的發生，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難融合。   

無(wú)塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異相結合。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s提升，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度新產品，氣流則較均一意向，目前一般潔凈室持續發展，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s

之間。 

影響潔凈室的氣流因素很多系統性，如制程設(shè)備合作、人員、潔凈室組裝材損耗、照明器具等勇探新路，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素形式。所以在可能產(chǎn)生塵源流動(dòng)之前就要先經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室通道的清潔擴大。

一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處便利性，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)拓展應用，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走實事求是；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方自動化方案，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后結構，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面空間廣闊，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低效果。     

無(wú)塵車間內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差服務水平，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔線上線下，將使渦流現(xiàn)象減少zui低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)能力建設、設(shè)備怖局是否完善知識和技能，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。