半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間工作制度       上海

一前沿技術、步入無(wú)塵車(chē)間前期準(zhǔn)備工作
1創造、進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間前建強保護，必須經(jīng)過(guò)凈化工程公司培訓(xùn)。
2、進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間嚴(yán)禁吸煙等地，飲食結構重塑，外來(lái)雜物不可攜入。
3生產創效、進(jìn)入無(wú)塵室前進一步提升，需在規(guī)定之處所脫鞋，將鞋置于鞋柜內(nèi)緊密協作，外衣置于衣柜內(nèi)提供有力支撐，私人物品置于私人柜內(nèi)，柜內(nèi)不可放置食物豐富內涵。
4數據、進(jìn)入無(wú)塵室須先在更衣室，將口罩就能壓製，無(wú)塵帽邁出了重要的一步，無(wú)塵衣以及鞋套按規(guī)定依程序穿戴整齊，再經(jīng)空氣洗塵室洗塵發揮，并踩踏除塵地毯（洗塵室地板上）方得進(jìn)入品牌。
5、戴口罩時(shí)設施，應(yīng)將口罩戴在鼻子之上節點，以將口鼻孔蓋住為原則，以免呼吸時(shí)污染芯片要求。
6、穿著無(wú)塵衣，無(wú)塵帽前應(yīng)先整理服裝以及頭發(fā)開放以來。
7等形式、整理儀容后，先戴無(wú)塵帽規模設備，無(wú)塵帽的穿戴原則：
（1）頭發(fā)必須覆蓋在帽內(nèi)支撐作用，不得外露穩步前行。
（2）無(wú)塵帽之下擺要平散于兩肩之上，穿上工作衣后著力提升，方不致下擺脫出指導，裸露肩頸部。
8動手能力、無(wú)塵帽戴妥后服務品質，再著無(wú)塵衣，無(wú)塵衣應(yīng)尺吋合宜充分，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞過程，穿衣時(shí)應(yīng)注意帽之下擺應(yīng)保平整之狀態(tài)，無(wú)塵衣不可反穿融合。
9進一步完善、穿著無(wú)塵衣后，才著鞋套自主研發，拉上鞋套并將鞋套整平力度，確實(shí)蓋在褲管之上。
10意向、戴手套時(shí)應(yīng)避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處（防止鈉離子污染）持續發展，戴上手套后，應(yīng)將手套之手腕置于衣袖內(nèi)系統性，以隔絕污染源合作。
11、無(wú)塵衣著妥后損耗，經(jīng)洗塵勇探新路，并踩踏除塵毯，方得進(jìn)入無(wú)塵室開展面對面。
12供給、不論進(jìn)入或離開(kāi)無(wú)塵室，須按規(guī)定在更衣室脫無(wú)塵衣便利性，不可在其它區(qū)域?yàn)橹卣箲?，尤不可在無(wú)塵室內(nèi)邊走邊脫。
13實事求是、無(wú)塵衣自動化方案、鞋套等，應(yīng)定期清洗結構，有破損空間廣闊，脫線時(shí)，應(yīng)即換新效果。
14、脫下無(wú)塵衣時(shí)營造一處，其順序與穿著時(shí)相反。
15線上線下、脫下之無(wú)塵衣應(yīng)吊好保供，并放于更衣室內(nèi)上層柜子中；鞋套應(yīng)放置于吊好的無(wú)塵衣下方知識和技能。
16技術創新、更衣室內(nèi)小柜中，除了放置無(wú)塵衣等規(guī)定物品外進行部署，不得放置其它物品生產體系。
17、除規(guī)定紙張及物品外，其它物品不得攜入無(wú)塵室更為一致。
18、無(wú)塵衣等不得攜出無(wú)塵室堅定不移，用畢放置于規(guī)定處所面向。
19、口罩與手套可視狀況自行保管或重復(fù)使用空間廣闊。
20、任何東西進(jìn)入無(wú)塵室真諦所在，必須用灑精擦拭干凈研學體驗。
21、任何設(shè)備的進(jìn)入通知管理人提供深度撮合服務，在無(wú)塵室外擦拭干凈深刻內涵，方可進(jìn)入。
22最為突出、未通過(guò)考核之儀器逐步改善，禁止使用，若遇緊急情況，得依緊急處理步驟作適當(dāng)處理落實落細，例如關(guān)閉水、電組成部分、氣體等開(kāi)關(guān)深入闡釋。
23、無(wú)塵室內(nèi)不可動(dòng)火高效化，以免發(fā)生意外大大提高。
二、無(wú)塵室操作須知
1完成的事情、處理芯片時(shí)調整推進，必須戴上無(wú)纖維手套為產業發展，使用清洗過(guò)的干凈鑷子挾持芯片，請(qǐng)勿以手指或其它任何東西接觸芯片發展契機，遭碰觸污染過(guò)的芯片須經(jīng)清洗穩定，方得繼續(xù)使用。
（1）任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過(guò)關註點，或是鑷子掉落地上增產，必須拿去清洗請(qǐng)勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。
（2）芯片清洗后進(jìn)行下一程序前系統，若被手指碰觸過(guò)的方法，必須重新清洗。
（3）把芯片放置于石英舟上方法，準(zhǔn)備進(jìn)爐管時(shí)生產創效，若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染，必須將芯片重新清洗進行探討，并立即更換干凈的鑷子使用緊密協作。
2、芯片必須放置盒中管理，蓋起來(lái)存放于規(guī)定位置，盡可能不讓它暴露。
3切實把製度、避免在芯片上談話優化上下，以防止唾液濺于芯片上，在芯片進(jìn)擴(kuò)散爐前最新，要特別注意發揮重要作用，防止上述動(dòng)作產(chǎn)生。
4模樣、從鐵弗龍(Teflon)晶舟取得顯著成效，石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上，取出芯片時(shí)數據顯示，必須垂直向上挾起責任，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片特征更加明顯，方可從吸座上移走芯片增多。
5、芯片上，若已長(zhǎng)上氧化層估算，在送黃光室前切勿用刀在芯片上刻記。
6達到、操作時(shí)深入各系統，不論是否戴上手套大型，手絕不能放進(jìn)清洗水槽。
7建設項目、使用化學(xué)站或烤箱處理芯片時(shí)動手能力，務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi)，不可使用塑料盒傳遞。
8充分、擺置芯片于石英舟時(shí)，若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片的發生，然后再進(jìn)氧化爐融合。
9、請(qǐng)勿觸摸芯片盒內(nèi)部相結合，如被碰觸或有碎芯片污染提升，必須重作清洗。
10相關性、手套競爭力，廢紙及其它雜碎東西，請(qǐng)勿留置于操作臺(tái)的必然要求，手套若燒焦的過程中、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新。
11狀況、非經(jīng)指示延伸，絕不可開(kāi)啟不熟悉的儀器及各種開(kāi)關(guān)閥控制鈕或把手。
12要求、奇怪的味道或反應(yīng)異常的溶液，顏色認為，聲響等請(qǐng)即通知相關(guān)人員運行好。
13、儀器因操作錯(cuò)誤而有任何損壞時(shí)紮實，立刻告知負(fù)責(zé)人員同期。
14、芯片盒進(jìn)出無(wú)塵室須保持干凈可能性更大，并以保鮮膜封裝鍛造，違者不得進(jìn)入。
15使命責任、無(wú)塵室內(nèi)一律使用原子筆及無(wú)塵筆記本做記錄共謀發展。
三、黃光區(qū)操作須知
1持續創新、濕度及溫度會(huì)影響對(duì)準(zhǔn)工作營造一處，在黃光區(qū)應(yīng)注意溫度及濕度服務水平，并應(yīng)減少對(duì)準(zhǔn)機(jī)附近的人，以減少濕保供、溫度的變化能力建設。
2、上妥光阻尚未曝光完成之芯片技術創新，不得攜出黃光區(qū)以免感光醒悟。
3、已上妥光阻生產體系，而在等待對(duì)準(zhǔn)曝光之芯片新模式，應(yīng)放置于不透明之藍(lán)黑色晶盒之內(nèi)，盒蓋必須蓋妥去突破。
4品質、光罩使用時(shí)應(yīng)持取邊緣，不得觸及光罩面，任何狀況之下能運用，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷參與水平。
5講理論、曝光時(shí)，應(yīng)避免用眼睛直視曝光機(jī)汞燈智能設備。
四解決問題、鑷子使用須知
1、進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室后不要畏懼，應(yīng)先戴上手套后導向作用，再取鑷子，以免沾污作用。
2重要意義、唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片應用的選擇，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰效率，或因其它原因而遭污染，必須拿去清洗逐漸顯現，方可再使用十大行動。