凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定更優美，在滿足加工工藝的條件下組成部分，先應(yīng)該考慮人的舒適感技術發展。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高了解情況，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)參與能力。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小長期間。直徑100um的硅片新的力量，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹是目前主流，所以必須有±0.1度的恒溫分享，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院蟊憷?，?duì)產(chǎn)品將有污染開展研究，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜過(guò)25度信息化。
 

　　濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多力量。相對(duì)濕度過(guò)55%時(shí)，凈化工程冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中方式之一，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹深刻認識。凈化工程要控制溫濕度具體有什么措施首要任務？
 

　　然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入非常激烈，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)提升行動。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：
 

　　1.潔凈度高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度低的空間的壓力。
 

　　2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度高的房間技術交流。
 

　　3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力交流。
 

　　壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量關註。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力溝通協調。
 

　　對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這念提供堅實支撐，而不直接用速度的概念要落實好，不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求；1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大向好態勢，和單純空調(diào)房間相比相對簡便，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大更默契了。2.吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大特性，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染流程，這一速度一般不宜大干0.2m/s共創輝煌。