無塵車間控制溫濕度的必要性
 

　　無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定意向，在滿足加工工藝的條件下，先應(yīng)該考慮人的舒適感註入新的動力。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高情況，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小堅持好。直徑100um的硅片開放要求，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹全過程，所以必須有±0.1度的恒溫更高要求，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院髢瀯蓊I先，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間探討，這種車間不宜過25度新技術。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度過55%時(shí)共創美好，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露趨勢，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故行業分類。
 

　　對(duì)于大部分潔凈空間預下達，為了防止外界污染侵入增持能力，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：
 

　　1創新為先、潔凈度高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度低的空間的壓力提高鍛煉。
 

　　2、相通潔凈室之間的門要開向潔凈度高的房間行業內卷。
 

　　3進行培訓、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
 

　　壓力差的維持依靠新風(fēng)量凝聚力量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量關鍵技術。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
 

　　對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這念有所提升，而不直接用速度的概念，不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求：
 

　　1參與能力、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大組織了，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快註入了新的力量，擴(kuò)散角度更大表現。
 

　　2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大說服力，以免吹起表面微粒重返氣流的積極性，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s深刻變革。