凈工作臺的結(jié)構(gòu)及如何空氣凈化說明

空氣經(jīng)過過濾的生產(chǎn)環(huán)境被航空航天工業(yè)使用。即使一個其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤組合運用，因此配套設備，NASA（美國航空航天中心）和其服務(wù)商們建造了帶有過濾天花板夾層和過濾墻體的車間。而且創(chuàng)了許多基本的污染控制理念深入交流研討，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法模式。

半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后集聚效應，很難保持其固有的潔凈度貢獻。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為凈工作臺法。這個主要是把過濾器裝在單個工作臺上提升，并使用無脫落的物質(zhì)持續。在工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運輸高品質。

在大型車間中按順序排列的工作臺（叫做工作層流罩）組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中互動講。潔凈工作罩中的過濾器是一種顆粒搜集過濾器（HEPA過濾器）統籌。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成支撐能力，由于高密度的小孔與大面積的過濾層產品和服務，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流協同控製，有利于工作臺的潔凈度不斷創新，并且對于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的體驗區。典型的空氣流量為每分鐘90到100英寸去突破。HEPA過濾器可達(dá)到99.99%或更高的過濾效率品質，并可用于三種凈化方法中。

一般來說，HEPA過濾器裝于凈工作臺頂部能運用。空氣由風(fēng)扇吸入先通過前置過濾器堅持先行，再通過HEPA過濾器講實踐，并以均勻平行的方式流出，在工作臺表面改變方向具體而言，流出工作臺最為顯著。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）工作臺奮戰不懈，它是由空氣流的方向命名的生產能力。有些工作臺把HEPA過濾器裝于工作臺后部，這種方式被稱為空氣層流平行（HLF）式工作臺作用。