潔凈室漏風(fēng)原因的分析     上海

一個密閉性能良好的潔凈室，在使用過程中，主要的漏風(fēng)途徑有以下四種：
送風(fēng)口的漏風(fēng)進一步意見；室內(nèi)門重要部署、窗縫隙的漏風(fēng)；開門過程中的漏風(fēng)；風(fēng)淋室數字技術、傳遞窗各種凈化設(shè)備的漏風(fēng)共享應用；室內(nèi)配套設(shè)備的工藝排風(fēng)。
1尤為突出、縫隙漏風(fēng)量計算
計算方法一：
v=1.29(△P)1/2
△V=S*v
△P：潔凈室內(nèi)外壓力差(Pa)
v：從縫隙處流過的風(fēng)速(m/s)
S：縫隙面積(m2)
V：通過縫隙的泄漏風(fēng)量(m3/h）
例：假設(shè)條件：房間正壓20pa情況較常見，門縫長度3.6m，窗縫長度40m標準，假設(shè)縫隙寬度0.01m喜愛。門縫隙面積S1=0.01*3.6=0.072m2，窗縫隙面積S2=0.002*40=0.08m2主要抓手。泄漏風(fēng)量V=s*v=(S1+S2)*3600*1.29*(△P)1/2=(0.072+0.08)*3600*1.29*(20)1/2=3157m3/hr保障。
計算方法二：
壓差法計算方式：
L=0.827×A×(ΔP)1/2×1.25=1.03375×A×(ΔP)1/2
式中L—正壓漏風(fēng)量(m3/s)；0.827—漏風(fēng)系數(shù)改造層面；A—總有效漏風(fēng)面積(m2)；ΔP—壓力差(Pa)各項要求；1.25—不嚴密處附加系數(shù)大面積。
2、開門的泄漏風(fēng)量
假設(shè)條件：房間正壓ΔP=20Pa優勢與挑戰，門面積S3=0.9*2.00=1.8m2集成應用，風(fēng)速v=1.29(△P)1/2=5.77m/s，開啟次數(shù)n=1次/hr問題分析，開啟時間t=5s迎來新的篇章。
泄漏風(fēng)量Q=S3*v*t*n=1.8*5.77*5*1*=51.93m3/h。
每小時開一次門不負眾望，開5秒共同學習，泄漏空氣量51.93m3/h。
3推動並實現、風(fēng)淋室與傳遞窗的空氣泄漏量
假設(shè)條件：風(fēng)淋室體積15m3，密閉無縫隙。開閉順序為(1)開→ (1)關(guān)→ (2)開→ (2)關(guān)技術特點。
分析：以風(fēng)淋室為例：
（1）開時A/S內(nèi)壓力為常壓101325Pa的有效手段，關(guān)時A/S內(nèi)壓力為常壓101325Pa，保持不變保持競爭優勢。
（2）開時A/S內(nèi)壓力為常壓101325Pa真正做到，保持不變，但穩(wěn)定后壓力變?yōu)榕c房間內(nèi)同樣壓力101325+20pa方案，關(guān)時A/S內(nèi)壓力為常壓101325+20Pa,保持不變追求卓越。
結(jié)論：所以需要補充的空氣量為15m3的空間壓力變化為20Pa時的密閉空間的補氣量。根據(jù)理想氣體方程式PV=mRT，(P氣壓舉行，單位Pa;V體積，單位m3；m氣體質(zhì)量單位kg習慣；R氣體常數(shù)等于287;T氣體開氏溫度記得牢，單位K，假設(shè)室內(nèi)溫度25℃覆蓋，開氏溫度為298K)服務體系。需補充空氣質(zhì)量m=(△P *V)/(R*T)= (20*15)/(287*298)=0.0035kg=3L。
相對來說風(fēng)淋室及傳遞箱的泄漏量較小(密閉良好的情況下)重要的作用，可忽略不計特點。
4、工藝排風(fēng)泄漏風(fēng)量
工藝排風(fēng)泄漏風(fēng)量即為工藝排風(fēng)量搶抓機遇。以上四種泄漏風(fēng)量之和即為房間維持正壓所需的送風(fēng)量綠色化發展。
更為快速的計算方法：潔凈時正壓換氣次數(shù)(次/時) ，如表1正壓換氣次數(shù)經(jīng)驗數(shù)據(jù)表結論，通過此表應用創新，可以更快速的計算正壓送風(fēng)量,潔凈室漏風(fēng)原因分析及潔凈室正壓送風(fēng)量計算方法。
例足夠的實力，潔凈室要求正壓為20Pa(表中第四行)和諧共生，潔凈室體積為100m3，潔凈室是有外窗全面闡釋、密閉性較好的潔凈室(表中第二列)用上了，那么此潔凈室維持正壓所需的送風(fēng)量V=換氣次數(shù)2.5*100m3=250m3(不包括工藝排風(fēng))
為什么有時不能達到理想正壓?
1、新風(fēng)補充量不足：重新計算新風(fēng)需求量適應性強。
2的特性、泄漏量過大：找出泄漏原因，尋出解決方案措施。
3取得了一定進展、排風(fēng)量太大：主要是工藝排風(fēng)量標(biāo)，重新計算。
4有所增加、空調(diào)回風(fēng)量太大：重新調(diào)節(jié)風(fēng)量。
簡單計算法的應(yīng)用實例—在潔凈室建造中為投資方節(jié)約能源促進進步，合理的正壓值對潔凈室各項指標(biāo)的達標(biāo)及降低運行成本是重要的供給。
半導(dǎo)體廠工程設(shè)備用電約占全廠用電的49%，冷動機用電占工程設(shè)備用電的35%更高要求，潔凈室空氣處理機組用電占工程設(shè)備用電的23%積極參與。潔凈室正壓設(shè)定值越大優勢領先，空氣處理機組送風(fēng)量越大，冷動機負荷越高，降低電力的耗用，即減少資源的消耗與污染源的制造。所以基于以上分析可知潔凈室內(nèi)的正壓設(shè)定直接關(guān)系到廠區(qū)運行成本,潔凈室漏風(fēng)原因分析及潔凈室正壓送風(fēng)量計算方法。
例趨勢，某廠主要由一個150m2的1000級潔凈室和一個100m2的1級潔凈室組成，正壓設(shè)定值為50Pa預判，現(xiàn)以其1級潔凈室為例計算所需新風(fēng)量。
計算條件
面積100m2，層高3m調解製度，高架地板下部空間1m深入，F(xiàn)FU滿布加高架地板系統(tǒng)。窗9扇(1m x 1m)覆蓋範圍，門1扇(1mx2.1m)一站式服務，每小時開啟一次，每次持續(xù)5秒前沿技術，風(fēng)淋室一個支撐作用，傳遞箱一個(1m3)，工藝排風(fēng)1000CMH攻堅克難，整個潔凈室氣密性良好機遇與挑戰，正壓設(shè)定為50Pa高效節能。
計算過程：
1相關、縫隙泄漏風(fēng)量
V=(S1+S2)*3600*1.29*(△P)1/2
(0.01*1*4*9+0.02*1*2+0.02*2.1*2)*3600*50(1/2)*1.29=4642m3/h
2、開門泄漏風(fēng)量
Q=S3*1.29*(△P)1/2*t*n
(2.1*1)*(50 (1/2)*1.29)*5*1=109m3/h
3組織了、風(fēng)淋室和傳遞窗密閉良好充足，假設(shè)無漏風(fēng)
4、工藝排風(fēng)量為1000CMH
控制50Pa正壓所需的新風(fēng)量為4624+109+1000=5733 m3/h表現，若根據(jù)經(jīng)驗值估算異常狀況，控制50Pa正壓所需風(fēng)量為5.3*100*4+1000=3120m3/h，取大值5733m3/h的積極性，實際余壓閥顯示正壓為65Pa更多可能性，業(yè)主出于節(jié)能考慮，要求降低正壓至35Pa高效。
一分析、針對FFU風(fēng)速進行改善
改善方式：
1、通過中控電腦質量，調(diào)整FFU馬達轉(zhuǎn)速降低(original：1,300 rpm)。
2、觀察潔凈室壓力值的變化(original：65Pa)。
3緊迫性、持續(xù)降低轉(zhuǎn)速直至壓力為45Pa質生產力。
4、記錄FFUzui后的轉(zhuǎn)速并觀察潔凈室壓力非常激烈。
二提升行動、針對(MAU)風(fēng)速進行改善
改善方式：
1、通過中控電腦調(diào)整MAU馬達轉(zhuǎn)速(original：45Hz)科技實力。
2開展試點、觀察潔凈室壓力值的變化(original：45Pa)。
3可靠保障、持續(xù)降低轉(zhuǎn)速直至壓力為35Pa規劃。
4、記錄MAUzui后的轉(zhuǎn)速共同，并觀察潔凈室壓力發展。
三、zui終節(jié)能效果
1在此基礎上、降低FFU轉(zhuǎn)速
（1）FFU轉(zhuǎn)速由1,300 rpm降至1,100rpm推進一步。
（2）共計可節(jié)省FFU馬達耗電：62Kw。
2越來越重要的位置、降低MAU轉(zhuǎn)速
（1）調(diào)節(jié)潔凈室壓力至35Pa問題分析，MAU負載 由45Hz降至41Hz。
（2）共計可節(jié)省MAU馬達耗電：4kW解決方案。
（3）降低潔凈室正壓同時可減少室外新風(fēng)(MA)供應(yīng)量以節(jié)省能源不負眾望。